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Gamma非蒸發(fā)型吸氣劑泵 (NEG)，NEG 由被壓到固態(tài)基板上或被燒結(jié)成盤狀的活性金屬制成。材料的用量控制著 NEG 泵的轉(zhuǎn)速和性能，但通常氫氣的抽速介于 50 至 3,500 ls^-1 之間。隨著 NEG 內(nèi)氣體的飽和，它們可以在不需要破空大氣的環(huán)境下再活化。其主要優(yōu)勢(shì)在于能夠在無需電源的情況下長時(shí)間抽空。

NEG 非常適用于抽空和維持真空應(yīng)用，并且可用于提升離子泵的性能，或單獨(dú)使用抽真空。由于其尺寸緊湊、H2 抽速較高，因此是 UHV 應(yīng)用的理想選擇。它們通常并不適用于頻繁從大氣壓下開始抽真空應(yīng)用，因?yàn)檫@會(huì)使表面飽和，并且它們僅可在有限的次數(shù)內(nèi)進(jìn)行再活化。

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