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真空閘閥是一種用于控制和調(diào)節(jié)真空系統(tǒng)內(nèi)部氣體流通的閥門。其工作原理基于門閥、密封墊和驅(qū)動機構(gòu)等多個部件的協(xié)同作用，主要包括以下幾個步驟：

開啟狀態(tài)：當真空閘閥處于開啟狀態(tài)時，閘板會被拉到開口位置，使得氣體可以自由地流通。此時，氣體從上下兩個法蘭連接處流入，通過閘板的開口進入下一個連接處。

關閉狀態(tài)：當需要關閉氣體流通時，驅(qū)動機構(gòu)會驅(qū)動閘板移動到關閉位置，將氣體流通通道完全切斷。在此過程中，閘板通過與密封墊的協(xié)同作用來確保真空系統(tǒng)內(nèi)部的密封性。

中間狀態(tài)：在真空閘閥從開啟狀態(tài)向關閉狀態(tài)過渡的過程中，閘板會逐漸移動，氣體流通通道也會逐漸被切斷。此時，密封墊扮演了關鍵角色，通過緊密貼合閥門與法蘭之間的接觸面來防止氣體泄漏。

真空閘閥的工作原理是通過閘板、密封墊和驅(qū)動機構(gòu)等部件的協(xié)同作用來控制氣體流通的。其優(yōu)點包括結(jié)構(gòu)簡單、密封性好、開啟和關閉速度快等特點，因此在真空系統(tǒng)中廣泛應用。

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